第241章 突破4英寸制程(1 / 2)

当真空炉可以正常工作后,李元向着身后做了一个手势。

一直心焦等着结果的人,顿时欢呼起来。

李元笑着转身,开启坩埚加热装置。

透过观察窗口,可以看见,坩埚外围的铜管线圈开始变红。

他时不时地控制着真空度。

不一会,穿戴整齐的肖师傅走了进来,开始接管真空度控制工作。

李元专心观察坩埚里的变化。

不久,硅粉开始融化。

直到全部融化为通红的液体,他控制着提拉抓手下落。

当抓手下的籽晶落入液面,顿时一层液体包裹住籽晶。

他控制着电机,籽晶边旋转,边上拉。

一个直径不下3英寸的晶柱被缓缓拉起。

当单晶柱生长到5mm左右时,晶柱慢慢变细,直到断裂。

李元知道,旋转和提拉速度的配合出现了问题。

因为设计之初,就考虑到这种配合问题,所以,其中一个传动齿轮设计成圆锥体。

只有调整这个圆锥体的切入深度,就能够调整旋转和提拉速度。

根据经验,李元调慢一丝。

实验继续。

调整,失败,再调整,再失败。。。

中途虽然也得到过几次1尺多长的单晶柱,但这不是真空提拉炉的设计产能。

实验继续。

直到两天后,李元终于制备出一条4英寸、1.5米高的单晶柱。

当李元打开真空炉,从里面抱下这根单晶柱,其他实验室的人全都跑出来,趴在玻璃上看着热闹。

黄燕开心地拍着李元的后背,她昨天,也加入了真空炉的调试。

“成功了?”

“成功了!”,李元的声音都在颤抖。

黄燕转向大厅,看着已经陷入欢乐海洋中的师兄、师弟、师妹们,哈哈大笑。

龚师兄坐着没动,脸上慢慢留下一粒粒泪水。

当初他意气风发,主抓半导体实验室,短短几年内取得了骄人的成绩。

正当他准备大展拳脚的时候,他的工作被停止。

实验室被关停。

然后就是领导谈话。

他当时是迷茫的,心中一直憋着一股火。

来到这个地下实验室,从此变得岌岌无名,还要听从小师弟的指挥。

他迷茫过,也痛苦过。

在老师的劝导下,最后还是说服自己,从此配合好李元这个小师弟。

直到安装起来真空提拉炉,他一直期盼着成功的那一天。

今天成功了,心中的郁结得到了缓解。

看着蹦蹦跳跳、没心没肺的黄燕,他笑了,也哭了。

无尘实验室里,黄燕慢慢冷静。

她开始专心地清理坩埚,并加入新的硅粉。

在李元的指导下,关闭真空炉,开始抽真空。

1个半小时后,除了真空度需要人工控制,单晶棒的制备完全是自动完成。

结果非常喜人,黄燕利用真空炉,也得到一根同样尺寸的单晶柱。

黄燕激动地和李元击掌相庆。

龚师兄,坐在大厅里,开心地看着他们。

二人走出无尘车间。

“今天早下班,一人一斤肉票,一斤花生油”。

实验室顿时变成了欢乐的海洋。