他们研发的光刻胶，成功地经受干法刻蚀中高能粒子的洗礼，顺利完成了保护硅片基底的任务，芯片良品率高达98%！

在吴利鸿院士的带领下，苏省大学微电子研究员，终于成功研发出了一款能胜任13.5nm制程的国产顶级EUV光刻胶！

而且这个13.5纳米制程，只是目前的初步实验结论。

从他们这次得到的套刻精度来看，这款光刻胶实际上有相当大的可能，可以胜任5纳米制程芯片的制造！

吴利鸿也非常沉得住气，没有选择立即将实验结果上报上去，而是让研究员们按照上次的配方，重新调配了一批光刻胶。

然后重复做了足足十次实验，确认每次的结果误差都在可接受的范围内后，才带着光刻胶和团队的主要技术人员飞往魔都，来到了申城硅产业集团。

此时的申城硅产业的集团总裁陈云明恰好在和华威的余总和何总，讨论华威P6的芯片代工问题。

而双方讨论的要点，就是产量和成本的问题。

华威本着量大从优的道理，想要直接订购两千万枚麒零9000。

但申城硅产业现在，其实也就只有一台秦光一号。

按照秦光一号每小时180片的硅片吞吐量，以及制造出的每片晶圆可以切割出500枚芯片来算，一台光刻机每天的产能应该有216万枚。

但实际上，光刻机的吞吐量不代表晶圆的制造速度，而是要根据不同芯片的设计，进行多次曝光和蚀刻。

以麒零9000为例，它需要经过足足19次光刻-蚀刻循环，才能完成整个晶圆制造环节，

也就是说，每天理论上只能造11万枚。

这还是建立在设备24小时不停机休息和维护，以及100%良率的基础之上。

因此实际产能，平均每天能有8万枚，就已经很不错了。

两千万枚芯片的订单，要差不多八个月才能完成，还是把所有产能，都压榨给华威的情况下。

何况在如此高负荷的运转下，他们光刻胶的库存，都不知道能不能撑得住……

“……我们也得考虑成本，也要时间来研发3nm的制程工艺，希望你们也能考虑一下我们的难处。”

陈云明实在有点受不了两位老总的软磨硬泡，最终拍板道，

“要不就这样吧，我给你两个方案，一个是150元300万枚，一个是200元600万枚，600万是极限，已经很够意思了。”

“呃……”

余总立刻在心里算了一笔账。

按照台机电5纳米制程，13400美元/片晶圆的价格来算，约等于每枚5nm制程的芯片代工费，是187元。

但台积电的代工是按晶圆来算的，废品都给你算钱了，而陈云明刚刚报的是当个芯片价格，等于去掉了废品，所以150-200元的代工费，在这个特殊时期，确实相当厚道了。

“可是陈总，这买卖哪有越多越贵的道理……”

“这不是情况特殊嘛，如果在库存光刻胶消耗完之前，国产光刻胶没有动静，那我们有光刻机也没得用啊，只能先省着点花了……”

“其实还有个办法，就是伱们去找康博士借点光刻胶给我们，那小子贼精得很，早早地就让我们帮他屯光刻胶了，现在大汉芯业的光刻机屯得比我们还多！”

每每想到这里，陈云明都有点后悔当初没有听康驰的，提前多屯点光刻胶。

主要是，当初谁能想到他能这么快搞出EUV光刻机……

就在余总还在考虑着，六百万枚到底能撑多久的时候，陈云明突击接到了吴利鸿的电话。

“吴院士？等等……你说什么？测试光刻胶？就到楼下了？！”

“……”

放下电话的陈云明，过了半响才缓过神，然后连忙打了个电话给董建元，让他下去接吴利鸿。

处理完这些后，他才转头看向华威的两个老总，一脸激动地说道：“我们的救星来了！”

(本章完)